| 【关 键 词】 | 真空计量 动态真空校准 响应时间 时间常数 |
| 【基 金】 | 国家自然科学基金(61501212) 甘肃省科技重大专项计划(17ZD2WA001) |
| 【摘 要】 | 在工业应用中,为精确监测生产过程,真空计在极短的时间内(1 s或更短)对压力的快速变化做出响应的能力是至关重要的。采用兰州空间技术物理研究所自主研发的快速动态真空校准装置,研究了四种电容薄膜真空计和一种皮拉尼真空计的动态响应特性。分析了真空计动态真空校准过程中的标准压力建立时间、时间常数和响应时间等参数。并验证了该装置的校准能力。研究结果表明,不同的真空计在毫秒量级上跟踪压力变化的能力有明显差别。研究为真空计实现通常使用条件下的动态真空溯源奠定了基础。 |
